Инфракрасные нагревательные лампы в технологии быстрого термического обработки (RTP) полупроводниковых пластин

Быстрая термическая обработка (RTP) использует высокочувствительные кварцевые галогенные инфракрасные нагревательные лампы в качестве источника тепла для нагрева всего пластинки или материала до температурного диапазона 300–1250 °C за очень короткий промежуток времени. Этот процесс характеризуется чрезвычайно высокой скоростью нагрева: типичное время термической обработки составляет менее 1–2 минут. Благодаря этому устраняются внутренние дефекты в пластинке или материале, что повышает эксплуатационные характеристики продукции. Поскольку нагревательная нить галогенной инфракрасной лампы изготавливается из промышленного вольфрамового сплава, её время отклика составляет менее 1 секунды. Применение ПИД-регулирования с замкнутым контуром обеспечивает исключительно высокую точность и однородность контроля температуры, а также позволяет быстро прекратить нагрев для быстрого охлаждения. RTP применяется в таких процессах, как окисление, отжиг, образование металлических силцидов и быстрое термическое химическое осаждение из паровой фазы (RTCVD).

Основной принцип работы RTP: быстрый, точный и управляемый процесс нагрева

Источник тепла: коротковолновые инфракрасные нагревательные лампы + заказные высокотемпературные модули

Коротковолновое инфракрасное излучение (1,0–1,4 мкм), испускаемое инфракрасными нагревательными лампами, проникает через прозрачное кварцевое окно и непосредственно облучает поверхность пластинки. Площадь излучения должна охватывать всю площадь пластинки, чтобы обеспечить равномерность температуры нагрева. Поверхность пластинки поглощает инфракрасную энергию и быстро нагревается, обычно достигая скоростей нагрева от 100 °C/с до 400 °C/с.

Однотрубные галогенные инфракрасные лампы коротковолнового диапазона широко применяются в высокоэффективных промышленных установках быстрого нагрева. Галогенная ИК-лампа изготавливается из однотрубного кварцевого стержня; нагревательная нить выполнена из вольфрамового сплава. Мы предлагаем однотрубные кварцевые стержни диаметром 10, 11, 12, 14, 15 и 19 мм для различных клиентов. Общая длина однотрубной ИК-лампы может достигать 2,5 м. Для более эффективной передачи и фокусировки всего ИК-излучения, испускаемого лампой, на нагреваемый материал, на поверхность кварца наносится специальный золотистый или белый отражатель, который затем закрепляется непосредственно на стекле.

Коротковолновая инфракрасная нагревательная лампа может быть сконструирована с высокой тепловой мощностью; диапазон излучения составляет 1,0–1,4 мкм, что особенно подходит для процессов быстрого реактивного нагрева. Это коротковолновое инфракрасное излучение проникает глубже в материалы, обеспечивая их полную эффективность поглощения инфракрасного излучения уже в течение нескольких секунд. В то же время она обладает следующими преимуществами:

1. Быстрое время отклика: температура нагрева может быстро повышаться и понижаться.

2. При совмещении с модулем отражения ИК-лампы могут работать в небольшой зоне за счёт концентрации света или параллельного облучения.

3. Лампа не касается нагретого объекта и может использоваться в чистой среде без вредных

4. Рабочая лампа не подвержена воздействию атмосферы и внешней среды и может использоваться в вакуумной печи.

5. Внутри нитей можно создать температуру до 2200 °C и выше, благодаря чему объекты могут нагреваться до 1000 °C и выше — в зависимости от материала и размера нагреваемого объекта.

Двухтрубные коротковолновые инфракрасные излучатели — нагревательные лампы Широко применяются в высокоэффективных промышленных установках быстрого нагрева. Инфракрасная лампа выполнена из кварцевой двойной трубки; нагревательная нить изготовлена из вольфрамового сплава. Мы предлагаем кварцевые двойные трубки размерами 23×11 мм и 33×15 мм для различных клиентов. Общая длина двойной кварцевой трубки инфракрасной лампы может достигать 6,0 м. Для более эффективной передачи и фокусировки всего инфракрасного излучения, испускаемого лампой, на нагреваемый материал, на поверхность кварца наносится специальный золотистый или белый отражатель, который затем закрепляется непосредственно на этой поверхности.

В зависимости от конфигурации различных конструкций нагревательных нитей и концевых кабелей, инфракрасная лампа с двумя трубками может изготавливаться в следующих типовых конфигурациях нагревательных нитей.

1: Кабели могут иметь одностороннее или двухстороннее подключение.

2: Различная длина нагрева, предназначенная для частичного нагрева

3: Длина — до 6 метров; широко применяется в промышленных процессах нагрева, таких как резка стекла, формование и ламинирование пластиков, покраска автомобилей и т. п.

Мы являемся производителем индивидуальных ИК-обогревательных ламп и предоставляем комплексное решение «под ключ» для ваших задач по обогреву. Приглашаем вас ознакомиться с нашими высокоэффективными инфракрасными обогревательными лампами. Если вам необходимы двухтрубные ИК-лампы с другими техническими характеристиками, пожалуйста, ознакомьтесь с прилагаемым техническим чертежом и свяжитесь с нами для уточнения деталей.